产品详情/ Details
名称：大尺寸光罩
材料：Soda Lime Glass、Quartz
规格：1100mm×1100mm~406.4mmx457.2mm
应用：PCB行业、平板显示行业
主要应用领域：
主要应用于LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP等平板显示行业；HDI、FPC等PCB行业。
Applications：
Mainly used in LCD、TFT、CF、Touch Panel、OLED、PDP and other flat panel display industry；HDI、FPC and other PCB industry.
铬版精度 Chrome Mask Specifications（Standard Size:430mmx430mm）
|
精度 / 级别
Items / Class
|
最高精度
Grade 1
|
高精度
Grade 2
|
中精度
Grade 3
|
一般精度
Grade 4
|
|
最小线宽/线缝
Min.Line/Space Width
|
1.0μm/1.0μm | 5μm/5μm | 10μm/10μm |
20μm/20μm
|
|
线条精度
CD Control
|
±0.15μm （QZ） |
±0.5μm
|
±1.0μm
|
±2.0μm
|
|
总长精度
Total Pitch Accuracy
|
±0.5μm（QZ）
|
±1.0μm
|
±2.0μm
|
±2.0μm
|
|
图形位置精度
Registration Accuracy
|
±0.5μm（QZ）
|
±1.0μm
|
±2.0μm
|
±3.0μm
|
|
套合精度
Overlay Accuracy
|
±0.5μm（QZ）
|
±1.0μm
|
±2.0μm
|
±3.0μm
|
|
垂直精度
Orthogonality
|
±0.75μrad
|
±2.0μrad
|
±3.0μrad
|
±4.0μrad
|
铬版材料 Substrate(Photomask blank phate)
| 材料 Material | Soda Lime Glass、Quartz |
| 最大尺寸Max. Size | 1100mm×1100mm |
| 常规尺寸Normal Size |
406.4mmx457.2mm,420mmx520mm,450mmx550mm,580mmx609.6mm,
609.6mmx711.2mm,620mmx720mm,700mmx800mm,800mmx960mm
|
| 厚度 Thickness |
2.3±0.2mm,3.0±0.2mm ,4.8±0.2mm ,7.8±0.2mm
5.0±0.2mm (QZ),8.0±0.2mm (QZ) |
| 铬膜 Film Type | Low Reflectance Chrome |
| 光学密度Optical Density（λ=450nm） | Between Plates3.0±0.3 In Plate±0.3 |
| 反射率Reflectivity（λ=436nm） | Between Plates10±5% In Plate±2% |
我司在菲林领域的主要生产经营范围：
PCB/FPC/LCD/TP光绘菲林
手机镜片菲林
导光板菲林
蚀刻菲林
印刷包装菲林输出
测量菲林
图卡菲林
